场发射扫描电子显微镜

仪器名称 场发射扫描电子显微镜 设备图片
仪器编号 00266492
所属院系 国有资产与实验室管理处(分析测试中心)
所属中心 国有资产与实验室管理处(分析测试中心)
所属实验室 分析测试中心
所属房间 文达101
设备控制类型
分类号 A02100301
型号 Apreo 2S HiVac
规格
国别码
单价 3515000
配置日期 2025-11-29 仪器技术员
设备来源 购置 仪器负责人 赵兰明
使用方向 科研 联系电话
经费科目 教育事业费 固定电话 85895268
仪器厂家 Thermo Fisher Scientific 电子邮件
使用说明 通讯地址
简介

【预约前必读】

计费方式:预约分为按时间、按样品两种方式。

  按时间计:半小时起约,超时10min以上,按0.5小时累加计费。

  按样品计:每样限0.5小时(超时10min以上则按小时计)、限取4张图(超出+10/张),EDS每样品10/(/线/区域),超出按实际数量计费。为提高设备使用效率,按样品预约需提前送样,中心收样后集中安排时间测试,同批次每用户限1样。

  测试项目选择:按时间预约,请准确填写起始时间并根据实际需求选择检测项目(下图前4项中的某一个,多余项目点击删除按钮);按样品预约,请删除前4项时间计费标准,并根据实际填写测试数量。


样品准备:

  简单样品(常规块状固体、粉末等)现场制备时间计入预约时长。建议用户自备样品台或借中心样品台提前制备样品,预约时间内直接上机观察。

  不导电样品请选择样品喷金,按处理批次计费。

数据下载:

  中心大型仪器设备专用计算机严禁使用U盘、无线网络等方式传输数据。

  中心唯一建议方式为用户携带便携式笔记本电脑,测试完成后接入中心提供专用网卡下载数据。

设备主要耗材
设备主要技术指标

分辨率:0.5nm@15kV*0.9nm@1kV0.8nm@1kV*0.8nm@500V*1.2nm@200V* (样品台减速)

探测器:ETDT1T2T3Nav-Cam+EDSEBSD

加速电压:20eV~30keV

最大束流:50nA

样品台:五轴电动马达台,XY110×110mmZ65mm,倾斜范围-15~+90°

样品仓:可容纳最大样品尺寸XY122mm,最大样品高度85mm,最大承重5kg

样品制备:离子溅射仪(金靶、铂靶)、临界点干燥仪。

主要功能及应用范围

可对金属、陶瓷、半导体、绝缘材料、高分子材料等进行纳米级高分辨观测;可对样品表面元素成分进行定量分析及空间分布扫描;对样品表面晶相进行测量和统计信息获取。

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